1.1分析范围主要针对业主提供的工艺图纸、会议上的工艺描述及现场查看情况等有关资料进行分析,主要包括如下单元:氯气、硅烷、氨气、三甲基铝特气房,输送管道,气体阀门箱,缓冲罐,使用机台(反应腔)等。...
安全评价范围 本评价仅限于对XX特种气体有限公司生产的电子气体硅烷、磷烷、砷烷和乙硼烷的生产装置和涉及到的危险有害物质、生产工艺装置、安全设施和措施进行评价,即对上述评价项目可能存在的危险、有害因素及其程度进行分析评价和提出针对性的防范对策措施,并在定性、定量分析的基础上得出现状安全评价结论。本...