本次安全评价范围为*太阳能有限公司硅薄太阳能电池研发及生产项目（一期工程，生产能力为年产60MW硅薄膜太阳能电池生产线）主体工程、公用工程及辅助设施（大宗气体站另行进行设立安全评价，不在本报告评价范围内）。对该项目存在的主要危险、有害因素及危险危害程度进行分析评价，评价其为降低上述危险、有害因素带来的风险程度而采取的安全技术措施和安全管理措施是否全面，并针对该生产装置安全技术措施方面的不完善之处、安全管理机构的设置及安全规章制度等安全管理方面不足之处，提出意见和建议。

*太阳能电力有限公司生产工艺流程简述如下：

TCO玻璃检查：通过外观观察TCO玻璃有无破损和表面瑕疵，在这个过程中会产生一些破损的玻璃和一些玻璃包装材料。

TCO玻璃磨边：主要是通过玻璃磨边机对玻璃锐边进行打磨，使玻璃边整齐且没有锋利的边角，在这个过程中会产生一些玻璃粉末和废的玻璃打磨材料，也可能产生一些损坏的玻璃。

TCO玻璃清洗：主要是使用纯水将玻璃表面清洗干净，然后用热空气将玻璃表面吹干。

TCO玻璃激光刻划：主要是通过激光将玻璃表面的TCO层分割成诸多单元，为在玻璃衬底上制作诸多的单体电池的透明导电膜电极，通过下面工艺实现串联形式，使成品的电压增大，以满足客户的需要。该过程中会产生极少量的TCO粉末。

PECVD：该过程主要是在真空环境下，通过射频放电的方式，将SiH4分解成Si和H2，并通过Si沉淀在TCO玻璃表面形成一层非晶硅薄膜；通过使用PH3和三甲基硼使非晶硅薄膜内掺杂入磷和硼，形成PIN结构。该过程中主要产生一些废气，包括：废的SiH4、PH3、三甲基硼和H2、 N2、NF3 、SiF4，公司通过设备自带的尾气处理装置将废气进行高温燃烧处理，燃烧后再通过酸碱喷淋处理后达标排放，产生SiO2、HF等。

激光刻划硅薄膜：该过程主要是通过激光将形成的硅薄膜根据TCO层分割情况对应分割成多个条块。该过程中会产生极少量的硅粉末。

PVD：该过程主要是在形成的硅薄膜上镀一层导电的ZnO/Al薄膜。

ZnO/Al激光刻划：该过程主要是通过激光将形成的ZnO/Al薄膜根据TCO层分割情况分割，该过程中会产生极少量的ZnO/Al粉末。

分割：该过程主要是根据顾客对商品规格的要求，将硅薄膜太阳能电池分割成符合顾客要求的规格。

层叠：将切割好的硅薄膜太阳能电池，根据工艺要求与其他的材料按要求叠加在一起。

层压：将层叠后的硅薄膜太阳能电池通过层压机将其压合在一起。

固化：将层压后的硅薄膜太阳能电池板通过固化炉高温加热，使各层材料更加紧密的结合在一起。

装框：通过在硅薄膜太阳能电池板周边安装铝合金/塑料材质边框增加太阳能电池组件的牢固性，以便满足使用时的物理要求。

图2-1    太阳能电池生产工艺流程图