安全评价范围

   本评价仅限于对XX特种气体有限公司生产的电子气体硅烷、磷烷、砷烷和乙硼烷的生产装置和涉及到的危险有害物质、生产工艺装置、安全设施和措施进行评价，即对上述评价项目可能存在的危险、有害因素及其程度进行分析评价和提出针对性的防范对策措施，并在定性、定量分析的基础上得出现状安全评价结论。

本评价的范围包括：

            硅烷生产车间；

            磷烷生产车间；

            砷烷生产车间；

            乙硼烷生产车间；

            清洗车间；

            硅化镁合成车间；

            水泵房；

            水处理车间；

            危险化学品仓库；

            气瓶仓库；

            钢瓶检验车间；

            辅助生产（维修、分析等）车间；

            安全管理

电子气硅烷的生产工艺流程

电子气磷烷的生产工艺流程

电子气砷烷的生产工艺流程

电子气乙硼烷的生产工艺流程